JIS B8350-1-2003 液压流体动力.气载噪声级测定的试验规程.第1部分:泵

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标准名称：	硅抛光片表面质量目测检验方法
英文名称：	Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
中标分类：	冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合
ICS分类：	电气工程 >> 半导体材料
替代情况：	替代GB/T 6624-1995
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2009-10-30
实施日期：	2010-06-01
首发日期：	1986-07-26
作废日期：
主管部门：	国家标准化管理委员会
提出单位：	全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位：	全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：	上海合晶硅材料有限公司
起草人：	徐新华、王珍
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2010-06-01
页数：	8
计划单号：	20065626-T-469

本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。
本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

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GB/T14264 半导体材料术语

Product Code:SAE AMS3898/9
Title:Interleaf Carrier Material, Composite Tape/Broadgoods, Kraft, Differentially Coated Paper, Unperforated, 0.0050 Inch Mp 0.0005 (0.127 Mm Mp 0.013)
Issuing Committee:Ams P17 Composite Materials Committee
Scope:This specification covers a kraft paper, coated on both sides and with different release characteristics on each side (i.e., differentially coated), supplied in the form of rolls of sheeting or reels of unperforated tape of the width specified.